Guia docent Escola Tècnica Superior d`Enginyeria |
català |
Enginyeria Electrònica (2006) |
Assignatures |
TECNOLOGIA DE MICROSISTEMES |
Fonts d'informació |
DADES IDENTIFICATIVES | 2008_09 |
Assignatura | TECNOLOGIA DE MICROSISTEMES | Codi | 175101207 | |||||
Ensenyament |
|
Cicle | 2on | |||||
Descriptors | Crèd. | Tipus | Curs | Període | ||||
4 | Optativa | Únic anual |
Competències | Objectius d'aprenentatge | Continguts |
Planificació | Metodologies | Atenció personalitzada |
Avaluació | Fonts d'informació | Recomanacions |
Bàsica |
W. Menz, J. Mohr, O. Paul, Microsystem Technology, Wiley-VCH, 2001 Hsu, Tai-Ran, MEMS and Microsystems, McGraw-Hill, 2002 |
Complementària |
H.J. Levinson, Principles of Lithography, SPIE press, 2005 M. Köhler, Etching in Microsystem Technology, Wiley-VCH, 1999 |