| Guia docent Escola Tècnica Superior d`Enginyeria |
català |
| Enginyeria Electrònica (2006) |
 Assignatures |
| TECNOLOGIA DE MICROSISTEMES |
| Fonts d'informació |
| DADES IDENTIFICATIVES | 2008_09 |
| Assignatura | TECNOLOGIA DE MICROSISTEMES | Codi | 175101207 | |||||
| Ensenyament |
|
Cicle | 2on | |||||
| Descriptors | Crèd. | Tipus | Curs | Període | ||||
| 4 | Optativa | Únic anual |
||||||
| Competències | Objectius d'aprenentatge | Continguts |
| Planificació | Metodologies | Atenció personalitzada |
| Avaluació | Fonts d'informació | Recomanacions |
| Bàsica |
W. Menz, J. Mohr, O. Paul, Microsystem Technology, Wiley-VCH, 2001
Hsu, Tai-Ran, MEMS and Microsystems, McGraw-Hill, 2002 |
| Complementària |
H.J. Levinson, Principles of Lithography, SPIE press, 2005
M. Köhler, Etching in Microsystem Technology, Wiley-VCH, 1999 |
