2016_17
Universidad
Rovira y Virgili
Guía docente 
Escuela Técnica Superior de Ingeniería Química
A A 
castellano 
Nanociencia, Materiales y Procesos: Tecnologia Química de Frontera (2013)
 Asignaturas
  NANOFABRICACIÓN Y NANOPROCESADO
   Contenidos
tema Subtema
Introducción. Introducción y conceptos preliminares
Capítulo 1. Llitografía ultravioleta y visible. Concepto de litografía óptica. Litografía óptica convencional. Resinas. Instrumentación. La microelectrónica como la fuerza impulsora de la miniaturización. Límites de la litografía óptica. Litografía óptica avanzada.
Capítulo 2. Litografía de haz de electrones. Introducción a la litografía de haz de electrones. Óptica con electrones: Sistemas de litografía de haz de electrones (Electron beam lithography, EBL). Las interacciones electrones-materiales sólidos. Exposición: Resinas. Efectos de proximidad. Tecnología del proceso. Aplicaciones.
Capítulo 3. Tecnología de haz de iones focalizado. Interacción ion-sólido. Pulverización y redepósito. Acanalamiento. Electrones secundarios. Haces de iones focalizados (FIB). Ataque iónico y ataque iónico asistido por gas. Depósito por gas asistido por iones. Sistemas FIB de un solo haz y de doble haz. Litografía por haz de iones. Nanomanipulación. Aplicaciones.
Capítulo 4. Técnicas litográficas no convencionales I: técnicas de AFM. Litografías basadas en microscopías de campo cercano: Introducción a la microscopía de sonda de barrido. Resumen de los métodos litográficos de sonda de barrido. Manipulación atómica (STM). La manipulación de los objetos y las moléculas. Indentación / depósito local. Nanolitografía de oxidación local. Dispensado local de líquidos y moléculas (incluyendo Dip Pen nanolithography). Nanofabricación en paralelo.
Capítulo 5. Técnicas litográficas no convencionales II: impresión, estampado y técnicas de AFM. Litografías de estampado. Termoplásticos: temperatura de transición vítrea. Estampado en caliente y nanoimpresión. Curado de termoplásticos mediante luz ultravioleta. Replicado. Litografías suaves


Capítulo 6. Técnicas de depósito y crecimiento Proceso de crecimiento. Evaporación. Epitaxia de haces moleculares. Pulverización catódica. Depósito asistido por iones. Ablación mediante láser. Depósito de fase química Depósito asistido mediante plasma. Método de depósito de Langmuir-Blodgett.


Capítulo 7. Procesado de capas. Grabado mediante química seca y húmeda. Procesos de lift-off. Grabado reactivo y asistido mediante plasma. Grabado iónico.
Capítulo 8. Procesos de fabricación global. Fabricación de estructuras complejas utilizando las técnicas descritas en los temas anteriores. Propuesta de alternativas y complementariedad de técnicas.