Educational guide Escola Tècnica Superior d`Enginyeria Química |
english |
Nanociència i Nanotecnologia (2006) |
Subjects |
PROCESSOS DE LA SALA BLANCA |
Contents |
IDENTIFYING DATA | 2008_09 |
Subject | PROCESSOS DE LA SALA BLANCA | Code | 205151206 | |||||
Study programme |
|
Cycle | 2nd | |||||
Descriptors | Credits | Type | Year | Period | ||||
2.5 | Optional | Only annual |
Competences | Learning aims | Contents |
Planning | Methodologies | Personalized attention |
Assessment | Sources of information | Recommendations |
Topic | Sub-topic |
Tema 1. | Introducció. Concepte de Sala Blanca. Tipus i classes de sales blanques. Necessitats de treballar en Sala Blanca. |
Tema 2. | Mode de treball en sala blanca. Fonts de contaminació i maneres d’evitar-ho. Mesura del nivell de contaminació. Mesures de seguretat. |
Tema 3. | Descripció dels processos tecnològics habituals en Sala Blanca. Distribució dels equips en funció dels processos. |
Tema 4. | El concepte de ‘RUN’: conjunt de processos encadenats. Realització pràctica d’un RUN. Documentació a Sala Blanca. |
Tema 5. | Coneixement pràctic dels processos de neteja. |
Tema 6. | Coneixement pràctic dels processos de fotolitografia. Disseny d’una màscara, deposició de resina, exposició i revelat |
Tema 7. | Coneixement pràctic dels processos de gravat. Gravats isotròpics i anisotròpics. Gravats secs (RIE). Gravats humits. |
Tema 8. | Coneixement pràctic dels processos de deposició. Deposició en fase vapor. Deposició de capes dielèctriques. Deposició de metalls (evaporació i “sputtering”). |
Tema 9. | Coneixement pràctic dels processos a alta temperatura i de creixement. Porcessos d’oxidació i recuit. |
Tema 10. | Coneixement pràctic dels processos de nanolitografia. Processos alternatius a la litografia òptica. Litografia per feixos d’electrons, litografia per microcontacte, litografia per nanoimpressió i litografia per AFM. |
Tema 11. | Inspecció i caracterització de processos. Microscòpia òptica i electrònica. Profilometria. Caracterització eléctrica. Elipsometria. |