Guia docent 2009_10 Escola Tècnica Superior d'Enginyeria Química

Nanociència i Nanotecnologia (2006)

Continguts

Tema	Subtema
Tema 1.	Introducció. Concepte de Sala Blanca. Tipus i classes de sales blanques. Necessitats de treballar en Sala Blanca.
Tema 2.	Mode de treball en sala blanca. Fonts de contaminació i maneres d’evitar-ho. Mesura del nivell de contaminació. Mesures de seguretat.
Tema 3.	Descripció dels processos tecnològics habituals en Sala Blanca. Distribució dels equips en funció dels processos.
Tema 4.	El concepte de ‘RUN’: conjunt de processos encadenats. Realització pràctica d’un RUN. Documentació a Sala Blanca.
Tema 5.	Coneixement pràctic dels processos de neteja.
Tema 6.	Coneixement pràctic dels processos de fotolitografia. Disseny d’una màscara, deposició de resina, exposició i revelat
Tema 7.	Coneixement pràctic dels processos de gravat. Gravats isotròpics i anisotròpics. Gravats secs (RIE). Gravats humits.
Tema 8.	Coneixement pràctic dels processos de deposició. Deposició en fase vapor. Deposició de capes dielèctriques. Deposició de metalls (evaporació i “sputtering”).
Tema 9.	Coneixement pràctic dels processos a alta temperatura i de creixement. Porcessos d’oxidació i recuit.
Tema 10.	Coneixement pràctic dels processos de nanolitografia. Processos alternatius a la litografia òptica. Litografia per feixos d’electrons, litografia per microcontacte, litografia per nanoimpressió i litografia per AFM.
Tema 11.	Inspecció i caracterització de processos. Microscòpia òptica i electrònica. Profilometria. Caracterització eléctrica. Elipsometria.

Competències	Objectius d'aprenentatge	Continguts
Planificació	Metodologies	Atenció personalitzada
Avaluació	Fonts d'informació	Recomanacions