DADES IDENTIFICATIVES | 2008_09 |
Assignatura | NANOFABRICACIÓ I NANOPROCESSAMENT | Codi | 205151106 | |||||
Ensenyament |
|
Cicle | 2on | |||||
Descriptors | Crèd. | Tipus | Curs | Període | ||||
5 | Obligatòria | Segon | Únic anual |
Competències | Objectius d'aprenentatge | Continguts |
Planificació | Metodologies | Atenció personalitzada |
Avaluació | Fonts d'informació | Recomanacions |
Bàsica |
M.J. Madou, Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization. 2nd edition., CRC Press, 2002 B. Bushan et al., Springer Handbook of Nanotechnology, Springer, 2006 J.N. Helbert, Handbook of VLSI Microlithography - Principles, Tools, Technology and Applications. 2nd Edition., William Andrew Publishing/Noyes, 2001 H.S. Nalwa (editor), Encyclopedia of nanoscience and nanotechnology, American Scientific Publishers, 2004 Z. Cui, Micro-Nanofabrication: Technology and Applications, Springer Verlag, 2006 M. Ohring, Materials Science of Thin Films, Academic Press, 2002 J.A. Venables, Introduction to Surface and Thin Film Processes, Cambridge University Press, 2001 |
Complementària |
, Journals in the field of Nanotechnology, , , Applied Physics and Chemical Synthesis, , , Proceedings of conferences in the field of the course, , |