| Competencias |
| Tipo A | Código | Competencias Específicas |
| A1 | A1.1. Destacar en el estudio y conocimiento del ámbito de investigación elegido: evaluar la importancia científico-técnica, el potencial tecnológico y la viabilidad de la nanociencia, de los materiales, de su diseño, su preparación, propiedades, procesos y desarrollos, técnicas y aplicaciones. | |
| Tipo B | Código | Competencias Transversales |
| B9 | B1.1. Comunicar y discutir propuestas y conclusiones en foros multilingües, especializados y no especializados, de un modo claro y sin ambigüedades. | |
| B14 | B3.1. Trabajar en equipo de forma colaborativa, con responsabilidad compartida en equipos multidisciplinares, multilingües y multiculturales. | |
| B15 | B4.1. Aprender de forma continua. | |
| B16 | B4.2. Aprender de forma autónoma y con iniciativa. | |
| B17 | B5.1. Trabajar de forma autónoma con responsabilidad e iniciativa, en un contexto de investigación e innovación. | |
| B18 | B5.2. Resolver problemas complejos, en entornos nuevos y en contextos de innovación y multidisciplinarios. | |
| B19 | B5.3. Aplicar pensamiento crítico, lógico y creativo, en un contexto de investigación e innovación. | |
| Tipo C | Código | Competencias Nucleares |
| C1 | Dominar en un nivel intermedio una lengua extranjera, preferentemente el inglés. | |
| C2 | Utilizar de manera avanzada las tecnologías de la información y la comunicación. | |
| C3 | Gestionar la información y el conocimiento. | |
| C5 | Comprometerse con la ética y la responsabilidad social como ciudadano y como profesional. |
| Resultados de aprendizaje |
| Tipo A | Código | Resultados de aprendizaje |
| A1 |
Formula el conocimiento de los principios básicos empleados en el campo de la nanofabricación y nanoprocesado, de los materiales y de las técnicas principales que se utilizan en esta área. Selecciona los métodos de nanofabricación más adecuados para resolver problemas específicos de la nanotecnología. | |
| Tipo B | Código | Resultados de aprendizaje |
| B9 |
Interviene de forma efectiva y transmite información relevante. Planifica la comunicación: genera ideas, busca informaciones, selecciona y ordena la información, hace esquemas, determina el tipo de público y los objetivos de la comunicación,... Prepara y realiza presentaciones estructuradas cumpliendo con los requisitos exigidos. Redacta documentos con el formato, contenido, estructura, corrección lingüística, registro adecuados e ilustra conceptos utilizando correctamente las convenciones: formatos, títulos, pies, leyendas,... Usa un lenguaje apropiado a la situación. Utiliza estrategias para presentar y llevar a cabo sus presentaciones orales (ayudas audiovisuales, mirada, voz, gesto, control de tiempo,...). | |
| B14 |
Acepta y cumple las normas del grupo. Colabora activamente en la planificación del trabajo en equipo, en la distribución de las tareas y plazos requeridos. Facilita la gestión positiva de las diferencias, desacuerdos y conflictos que se producen al equipo. Lleva a cabo su aportación individual en el tiempo previsto y con los recursos disponibles. Participa de forma activa y comparte información, conocimiento y experiencias. Tiene en cuenta los puntos de vista de los demás y retroalimenta de forma constructiva. | |
| B15 |
Adopta autónomamente las estrategias de aprendizaje en cada situación. Establece sus propios objetivos de aprendizaje. | |
| B16 |
Formula preguntas adecuadas para resolver las dudas o cuestiones abiertas, y tiene criterio en la búsqueda de la información. Selecciona un procedimiento de entre los que le propone el profesor. | |
| B17 |
Analiza sus limitaciones y posibilidades para desarrollar su tarea o trabajo. Decide como gestiona y organiza el trabajo y el tiempo que necesita para llevar a cabo una tarea a partir de una planificación orientativa. Decide como gestiona y organiza el trabajo y el tiempo. Reflexiona sobre su proceso de aprendizaje y sus necesidades de aprendizaje. | |
| B18 |
Dirige el proceso de toma de decisiones de manera participativa. Elabora una estrategia para resolver el problema. Obtiene el espaldarazo necesario otros para lograr el éxito de sus decisiones. Presenta diferentes opciones alternativas de solución ante un mismo problema y evalúa sus posibles riesgos y ventajas. Recoge la información significativa que necesita para resolver los problemas en base a criterios objetivos. | |
| B19 |
Sigue un método lógico para identificar las causas de un problema. | |
| Tipo C | Código | Resultados de aprendizaje |
| C1 |
Expresa opiniones sobre temas abstractos o culturales de forma limitada. Explica y justifica brevemente sus opiniones y proyectos. Comprende instrucciones sobre clases o tareas asignadas por los profesores. Comprende información y artículos de carácter rutinario. Extrae el sentido general de los textos que contienen información no rutinaria dentro de un ámbito conocido. Escribe carta o toma notas sobre asuntos preisibles y contenidos. | |
| C2 |
Conoce la maquinaria básica de los ordenadores. Conoce el sistema operativo como gestor del maquinario y el programario como herramienta de trabajo. Utiliza programario para la comunicación off-line: editores de textos, hojas de cálculo y presentaciones digitales. Utiliza programario para a comunicación on-line: herramientas interactivas (web, Moodle, blogs...), correo electónico, foros, chat, videoconferencias, herramientas de trabajo colaborativo... | |
| C3 |
Localiza y accede a la información de manera eficaz y eficiente. Avalua ciríticamente la información y sus fuentes y la incorpora a la propia base de conocimientos y a su sistema de valores. Utiliza la informaicón comprendiendo las implicaciones económicas, legales, sociales y éticas del acceso a la información y a su uso. Reflexiona, revisa y avalua el proceso de gestión de la información. | |
| C5 |
Muestra respeto por los derechos fundamentales y de igualdad entre hombres y mujeres. Actúa desdel respeto y promoción de los derechos humanos y los principios de accesibilidad universal, de igualdad de oportunidades, no discriminación y accesibilidad universal de las personas con necesidades educativas especiales. Muestra respeto a los valores propios de una cultura de paz y de valo res democráticos. |
| Contenidos |
| tema | Subtema |
| Introducció. | Introducció i conceptes preliminars. |
| Capítol 1. Litografia ultraviolada i visible. | Concepte de litografia òptica. Litografia òptica convencional. Resines. Instrumentació. La microelectrònica com la força impulsora de la miniaturització. Límits de la litografia òptica. Litografia òptica avançada. |
| Capítol 2. Litografia de feix d'electrons. | Introducció a la litografia de feix d'electrons. Òptica amb electrons: Sistemes de litografia de feix d'electrons (Electron beam lithography, EBL). Les interaccions electrons-materials sòlids. Exposició: Resines. Efectes de proximitat. Tecnologia del procés. Aplicacions. |
| Capítol 3. Tecnologia de feix d'ions focalitzat. | Interacció ió-sòlid. Polvorització i Redepòsit. Acanalament. Electrons secundaris. Feixos de ions focalitzats (FIB). Atac iònic i atac iònic assistit per gas. Dipòsit per gas assistit per ions. Sistemes FIB d'un sol feix i de doble feix. Litografia per feix d'ions. Nanomanipulació. Aplicacions. |
| Capítol 4. Tècniques litogràfiques no convencionals I: tècniques de AFM. | Litografies basades en microscopies de camp proper: Introducció a la microscòpia de sonda de rastreig. Resum dels mètodes litogràfics de sonda de rastreig. Manipulació atòmica (STM). La manipulació dels objectes i les molècules. Indentació / repositori local. Nanolitografia d'oxidació local. Dispensat local de líquids i molècules (incloent Dip Pen nanolithography). Nanofabricació en paral•lel. |
| Capítol 5. Tècniques litogràfiques no convencionals II: impressió, estampat i tècniques d'AFM. | Litografies d'estampat. Termoplàstics: temperatura de transició vítria. Estampat en calent i nanoimpressió. Curat de termoplàstics mitjançant llum ultraviolada. Replicat. Litografies suaus |
| Capítol 6. Tècniques de dipòsit i creixement. |
Procés de creixement. Evaporació. Epitàxia de feixos moleculars. Polvorització catòdica. Dipòsit assistit per ions. Ablació amb làser. Dipòsit de fase química Dipòsit assistit mitjançant plasma. Mètode de dipòsit de Langmuir-Blodgett. |
| Capítol 7. Processament de capes. | Gravat mitjançant química seca i humida. Processos de lift-off. Gravat reactiu i assistit mitjançant plasma. Gravat iònic. |
| Capítol 8. Processos de fabricació global. | Fabricació d'estructures complexes utilitzant les tècniques descrites en els temes anteriors. Proposta d'alternatives i complementarietat de tècniques. |
| Planificación |
| Metodologías :: Pruebas | ||||||||||
| Competencias | (*) Horas en clase |
Horas fuera de clase |
(**) Horas totales | |||||||
| Actividades introductorias |
|
1 | 0 | 1 | ||||||
| Sesión magistral |
|
25 | 50 | 75 | ||||||
| Trabajos |
|
6 | 12 | 18 | ||||||
| Presentaciones/exposiciones |
|
4 | 4 | 8 | ||||||
| Atención personalizada |
|
3 | 4.5 | 7.5 | ||||||
| Pruebas de desarrollo |
|
1 | 2 | 3 | ||||||
| (*) En el caso de docencia no presencial, serán las horas de trabajo con soporte virtual del profesor. (**) Los datos que aparecen en la tabla de planificación son de carácter orientativo, considerando la heterogeneidad de los alumnos | ||||||||||
| Metodologías |
| descripción | |
| Actividades introductorias | Una sessió introductòria per tal de proporcionar una visió general de l'assignatura i el seu paper en el marc de la nanociència i la nanotecnologia. |
| Sesión magistral | Sessions cobrint els principis bàsics, modes d’operació, aplicacions i limitacions fonamentals de les tècniques de nanofabricació i nanoprocessat |
| Trabajos | Exercicis individuals i petites presentacions a classe sobre un tema molt específic que els estudiants han de treballar i presentar individualment. |
| Presentaciones/exposiciones | Els estudiants es dividiran en grups i cada grup durà a terme una exposició oral sobre el treball que han desenvolupat durant el curs. |
| Atención personalizada | Reunions amb els estudiants, ja sigui de forma individual o grupal, per tal de millorar el seu rendiment. |
| Atención personalizada |
| descripción |
| Dr. Albert Romano: Prof. Albert Romano-Rodriguez Professor Titular d'Universitat MIND-IN2UB - Departament d'Electronica Universitat de Barcelona c/ Marti i Franques, 1 E-08028 Barcelona Spain tel: +34 93 403 91 56 FAX: +34 93 402 11 48 e-mail: aromano@el.ub.es Dr. Francesc Pérez-Murano: Prof. Francesc Perez-Murano NEMS and Nanofabrication IMB-CNM. CSIC CAMPUS UAB. 08193 Bellaterra.Spain Phone: +34 93 594 77 00 (ext. 2113) e-mail: francesc.perez@imb-cnm.csic.es Dr. Manuel Varela: M. Varela Applied Physics and Optics Dept. University of Barcelona c/ Martí i Franquès, 1 08028 Barcelona mvarela@ub.edu |
| Evaluación |
| Metodologías | Competencias | descripción | Peso | ||||
| Trabajos |
|
Treballs en grup sobre un tema molt específic que els estudiants han de treballar i presentar. | 10-20% | ||||
| Presentaciones/exposiciones |
|
Els estudiants es dividiran en grups i cada grup durà a terme una exposició oral sobre el treball que han desenvolupat durant el curs. | 30-40% | ||||
| Pruebas de desarrollo |
|
proves on han de desenvolupar una o més temàtiques | 40-60% | ||||
| Otros |
| Otros comentarios y segunda convocatoria | |||
|
Durant les proves avaluatives, els telèfons mòbils, tablets i altres aparells alectrònics que no siguin expressament autoritzats per la prova, han d'estar apagats i fora de la vista |
|||
| Fuentes de información |
| Básica |
M.J. Madou , Fundamentals of microfabrication: the science of miniaturization. , CRC Press , 2002
B. Bushan et al. , Springer Handbook of Nanotechnology , Springer, 2006
J.N. Helbert, Handbook of VLSI Microlithography - Principles, Tools, Technology and Applications. , William Andrew Publishing/Noyes , 2001
H.S. Nalwa (editor) , Encyclopedia of nanoscience and nanotechnology , American Scientific Publishers , 2004
Z. Cui , Micro-Nanofabrication: Technology and Applications , Springer Verlag , 2006
M. Ohring , Materials Science of Thin Films , Academic Press , 2002
J.A. Venables , Introduction to Surface and Thin Film Processes , Cambridge University Press , 2001 |
||||||||
| Complementária | |||||||||
Journals in the field of Nanotechnology Applied Physics and Chemical Synthesis Proceedings of conferences in the field of the subject |
|||||||||
| Recomendaciones |
| Asignaturas que se recomienda cursar simultáneamente | ||
|
||
(*)La Guía docente es el documento donde se visualiza la propuesta académica de la URV. Este documento es público y no es modificable, excepto en casos excepcionales revisados por el órgano competente o debidamente revisado de acuerdo la normativa vigente.