| Competencias |
| Tipo A | Código | Competencias Específicas |
| A1.1 | A1.1. Destacar en el estudio y conocimiento del ámbito de investigación elegido: evaluar la importancia científico-técnica, el potencial tecnológico y la viabilidad de la nanociencia, de los materiales, de su diseño, su preparación, propiedades, procesos y desarrollos, técnicas y aplicaciones. | |
| Tipo B | Código | Competencias Transversales |
| B1.1 | B1.1. Comunicar y discutir propuestas y conclusiones en foros multilingües, especializados y no especializados, de un modo claro y sin ambigüedades. | |
| B3.1 | B3.1. Trabajar en equipo de forma colaborativa, con responsabilidad compartida en equipos multidisciplinares, multilingües y multiculturales. | |
| B4.2 | B4.2. Aprender de forma autónoma y con iniciativa. | |
| Tipo C | Código | Competencias Nucleares |
| C1.1 | Dominar en un nivel intermedio una lengua extranjera, preferentemente el inglés. | |
| C1.2 | Utilizar de manera avanzada las tecnologías de la información y la comunicación. | |
| C1.3 | Gestionar la información y el conocimiento. |
| Resultados de aprendizaje |
| Tipo A | Código | Resultados de aprendizaje |
| A1.1 |
Formula el conocimiento de los principios básicos empleados en el campo de la nanofabricación y nanoprocesado, de los materiales y de las técnicas principales que se utilizan en esta área. Selecciona los métodos de nanofabricación más adecuados para resolver problemas específicos de la nanotecnología. | |
| Tipo B | Código | Resultados de aprendizaje |
| B1.1 |
Interviene de forma efectiva y transmite información relevante. Planifica la comunicación: genera ideas, busca informaciones, selecciona y ordena la información, hace esquemas, determina el tipo de público y los objetivos de la comunicación,... Prepara y realiza presentaciones estructuradas cumpliendo con los requisitos exigidos. Redacta documentos con el formato, contenido, estructura, corrección lingüística, registro adecuados e ilustra conceptos utilizando correctamente las convenciones: formatos, títulos, pies, leyendas,... Usa un lenguaje apropiado a la situación. Utiliza estrategias para presentar y llevar a cabo sus presentaciones orales (ayudas audiovisuales, mirada, voz, gesto, control de tiempo,...). | |
| B3.1 |
Acepta y cumple las normas del grupo. Colabora activamente en la planificación del trabajo en equipo, en la distribución de las tareas y plazos requeridos. Facilita la gestión positiva de las diferencias, desacuerdos y conflictos que se producen al equipo. Lleva a cabo su aportación individual en el tiempo previsto y con los recursos disponibles. Participa de forma activa y comparte información, conocimiento y experiencias. Tiene en cuenta los puntos de vista de los demás y retroalimenta de forma constructiva. | |
| B4.2 |
Formula preguntas adecuadas para resolver las dudas o cuestiones abiertas, y tiene criterio en la búsqueda de la información. Selecciona un procedimiento de entre los que le propone el profesor. | |
| Tipo C | Código | Resultados de aprendizaje |
| C1.1 |
Expresa opiniones sobre temas abstractos o culturales de forma limitada. Explica y justifica brevemente sus opiniones y proyectos. Comprende instrucciones sobre clases o tareas asignadas por los profesores. Comprende información y artículos de carácter rutinario. Extrae el sentido general de los textos que contienen información no rutinaria dentro de un ámbito conocido. Escribe carta o toma notas sobre asuntos preisibles y contenidos. | |
| C1.2 |
Conoce la maquinaria básica de los ordenadores. Conoce el sistema operativo como gestor del maquinario y el programario como herramienta de trabajo. Utiliza programario para la comunicación off-line: editores de textos, hojas de cálculo y presentaciones digitales. Utiliza programario para a comunicación on-line: herramientas interactivas (web, Moodle, blogs...), correo electónico, foros, chat, videoconferencias, herramientas de trabajo colaborativo... | |
| C1.3 |
Localiza y accede a la información de manera eficaz y eficiente. Avalua ciríticamente la información y sus fuentes y la incorpora a la propia base de conocimientos y a su sistema de valores. Utiliza la informaicón comprendiendo las implicaciones económicas, legales, sociales y éticas del acceso a la información y a su uso. Reflexiona, revisa y avalua el proceso de gestión de la información. |
| Contenidos |
| tema | Subtema |
| Introducción. | Introducción y conceptos preliminares |
| Capítulo 1. Llitografía ultravioleta y visible. | Concepto de litografía óptica. Litografía óptica convencional. Resinas. Instrumentación. La microelectrónica como la fuerza impulsora de la miniaturización. Límites de la litografía óptica. Litografía óptica avanzada. |
| Capítulo 2. Litografía de haz de electrones. | Introducción a la litografía de haz de electrones. Óptica con electrones: Sistemas de litografía de haz de electrones (Electron beam lithography, EBL). Las interacciones electrones-materiales sólidos. Exposición: Resinas. Efectos de proximidad. Tecnología del proceso. Aplicaciones. |
| Capítulo 3. Tecnología de haz de iones focalizado. | Interacción ion-sólido. Pulverización y redepósito. Acanalamiento. Electrones secundarios. Haces de iones focalizados (FIB). Ataque iónico y ataque iónico asistido por gas. Depósito por gas asistido por iones. Sistemas FIB de un solo haz y de doble haz. Litografía por haz de iones. Nanomanipulación. Aplicaciones. |
| Capítulo 4. Técnicas litográficas no convencionales I: técnicas de AFM. | Litografías basadas en microscopías de campo cercano: Introducción a la microscopía de sonda de barrido. Resumen de los métodos litográficos de sonda de barrido. Manipulación atómica (STM). La manipulación de los objetos y las moléculas. Indentación / depósito local. Nanolitografía de oxidación local. Dispensado local de líquidos y moléculas (incluyendo Dip Pen nanolithography). Nanofabricación en paralelo. |
| Capítulo 5. Técnicas litográficas no convencionales II: impresión, estampado y técnicas de AFM. | Litografías de estampado. Termoplásticos: temperatura de transición vítrea. Estampado en caliente y nanoimpresión. Curado de termoplásticos mediante luz ultravioleta. Replicado. Litografías suaves |
| Capítulo 6. Técnicas de depósito y crecimiento | Proceso de crecimiento. Evaporación. Epitaxia de haces moleculares. Pulverización catódica. Depósito asistido por iones. Ablación mediante láser. Depósito de fase química Depósito asistido mediante plasma. Método de depósito de Langmuir-Blodgett. |
| Capítulo 7. Procesado de capas. | Grabado mediante química seca y húmeda. Procesos de lift-off. Grabado reactivo y asistido mediante plasma. Grabado iónico. |
| Capítulo 8. Procesos de fabricación global. | Fabricación de estructuras complejas utilizando las técnicas descritas en los temas anteriores. Propuesta de alternativas y complementariedad de técnicas. |
| Planificación |
| Metodologías :: Pruebas | ||||||||||
| Competencias | (*) Horas en clase |
Horas fuera de clase |
(**) Horas totales | |||||||
| Actividades introductorias |
|
1 | 0 | 1 | ||||||
| Sesión magistral |
|
25 | 50 | 75 | ||||||
| Presentaciones/exposiciones |
|
4 | 4 | 8 | ||||||
| Atención personalizada |
|
3 | 4.5 | 7.5 | ||||||
| Pruebas de desarrollo |
|
6 | 12 | 18 | ||||||
| Pruebas prácticas |
|
1 | 2 | 3 | ||||||
| (*) En el caso de docencia no presencial, serán las horas de trabajo con soporte virtual del profesor. (**) Los datos que aparecen en la tabla de planificación son de carácter orientativo, considerando la heterogeneidad de los alumnos | ||||||||||
| Metodologías |
| descripción | |
| Actividades introductorias | Actividades encaminadas a tomar contacto y a recoger información de los estudiantes. Presentación de la asignatura. |
| Sesión magistral | Exposición de los contenidos de la assignatura. |
| Presentaciones/exposiciones | Exposición oral por parte de los estudiantes de un tema concreto o de un trabajo (previa presentación escrita). |
| Atención personalizada | Tiempo que cada profesor tiene reservado para atender y resolver dudas a los estudiantes. |
| Atención personalizada |
| descripción |
| Dr. Albert Romano: Prof. Albert Romano-Rodriguez Professor Titular d'Universitat MIND-IN2UB - Departament d'Electronica Universitat de Barcelona c/ Marti i Franques, 1 E-08028 Barcelona Spain tel: +34 93 403 91 56 FAX: +34 93 402 11 48 e-mail: aromano@el.ub.es Dr. Francesc Pérez-Murano: Prof. Francesc Perez-Murano NEMS and Nanofabrication IMB-CNM. CSIC CAMPUS UAB. 08193 Bellaterra.Spain Phone: +34 93 594 77 00 (ext. 2113) e-mail: francesc.perez@imb-cnm.csic.es Dr. Manuel Varela: M. Varela Applied Physics and Optics Dept. University of Barcelona c/ Martí i Franquès, 1 08028 Barcelona mvarela@ub.edu Xavier Borrisé (CNM-CSIC and ICN) Nanolithography Laboratory CAMPUS UAB. 08193 Bellaterra.Spain Phone: +34 93 5947700 ext 1104 e-mail: xavier.borrise@imb-cnm.csic.es |
| Evaluación |
| Metodologías | Competencias | descripción | Peso | ||||
| Presentaciones/exposiciones |
|
Los estudiantes se dividirán en grupos y cada grupo llevará a cabo una exposición oral sobre el trabajo que han desarrollado durante el curso. | 30-40% | ||||
| Pruebas prácticas |
|
Prueba sobre un proceso de fabricación determinado con un vertiente práctico | 10-20% | ||||
| Pruebas de desarrollo |
|
Exámenes en que los alumnos han de mostrar individualmente sus conocimientos. | 40-60% | ||||
| Otros |
| Otros comentarios y segunda convocatoria | |||
|
Durante las pruebas evaluativas, los teléfonos móviles, tablets y otros aparatos electónico que no sean expresamente autorizados por la prueba, deben estar apagados y fuera de la vista |
|||
| Fuentes de información |
| Básica |
M.J. Madou , Fundamentals of microfabrication: the science of miniaturization. , CRC Press , 2002
B. Bushan et al. , Springer Handbook of Nanotechnology , Springer, 2006
J.N. Helbert, Handbook of VLSI Microlithography - Principles, Tools, Technology and Applications. , William Andrew Publishing/Noyes , 2001
H.S. Nalwa (editor) , Encyclopedia of nanoscience and nanotechnology , American Scientific Publishers , 2004
Z. Cui , Micro-Nanofabrication: Technology and Applications , Springer Verlag , 2006
M. Ohring , Materials Science of Thin Films , Academic Press , 2002
J.A. Venables , Introduction to Surface and Thin Film Processes , Cambridge University Press , 2001 |
||||||||
| Complementaria | |||||||||
Journals in the field of Nanotechnology Applied Physics and Chemical Synthesis Proceedings of conferences in the field of the subject |
|||||||||
| Recomendaciones |
| Asignaturas que se recomienda cursar simultáneamente | ||
|
||
(*)La Guía docente es el documento donde se visualiza la propuesta académica de la URV. Este documento es público y no es modificable, excepto en casos excepcionales revisados por el órgano competente o debidamente revisado de acuerdo la normativa vigente.