DATOS IDENTIFICATIVOS 2016_17
Asignatura (*) NANOFABRICACIÓN Y NANOPROCESADO Código 20705206
Titulación
Nanociencia, Materiales y Procesos: Tecnologia Química de Frontera (2013)
Ciclo
Descriptores Cr.totales Tipo Curso Periodo
4.5 Optativa AN
Lengua de impartición
Anglès
Departamento Química Analítica y Química Orgánica
Coordinador/a
RIU RUSELL, JORDI
Correo-e jordi.riu@urv.cat
xavier.borrise@urv.cat
manuel.varela@urv.cat
alberto.romano@urv.cat
francescxavier.perez@urv.cat
Profesores/as
RIU RUSELL, JORDI
BORRISÉ NOGUÉ, XAVIER
VARELA FERNANDEZ, MANUEL
ROMANO RODRÍGUEZ, ALBERTO
PÉREZ MURANO, FRANCESC XAVIER
Web
Información relevante El objetivo general del curso es que los estudiantes adquieran el conocimiento básico de los procesos de fabricación con una resolución en la escala del nanómetro y conozcan sus principales ámbitos de uso, haciendo énfasis en las ventajas y desventajas de cada uno de ellos.

Competencias
Tipo A Código Competencias Específicas
 A1.1 A1.1. Destacar en el estudio y conocimiento del ámbito de investigación elegido: evaluar la importancia científico-técnica, el potencial tecnológico y la viabilidad de la nanociencia, de los materiales, de su diseño, su preparación, propiedades, procesos y desarrollos, técnicas y aplicaciones.
Tipo B Código Competencias Transversales
 B1.1 B1.1. Comunicar y discutir propuestas y conclusiones en foros multilingües, especializados y no especializados, de un modo claro y sin ambigüedades.
 B3.1 B3.1. Trabajar en equipo de forma colaborativa, con responsabilidad compartida en equipos multidisciplinares, multilingües y multiculturales.
 B4.2 B4.2. Aprender de forma autónoma y con iniciativa.
Tipo C Código Competencias Nucleares
 C1.1 Dominar en un nivel intermedio una lengua extranjera, preferentemente el inglés.
 C1.2 Utilizar de manera avanzada las tecnologías de la información y la comunicación.
 C1.3 Gestionar la información y el conocimiento.

Resultados de aprendizaje
Tipo A Código Resultados de aprendizaje
 A1.1 Formula el conocimiento de los principios básicos empleados en el campo de la nanofabricación y nanoprocesado, de los materiales y de las técnicas principales que se utilizan en esta área.
Selecciona los métodos de nanofabricación más adecuados para resolver problemas específicos de la nanotecnología.
Tipo B Código Resultados de aprendizaje
 B1.1 Interviene de forma efectiva y transmite información relevante.
Planifica la comunicación: genera ideas, busca informaciones, selecciona y ordena la información, hace esquemas, determina el tipo de público y los objetivos de la comunicación,...
Prepara y realiza presentaciones estructuradas cumpliendo con los requisitos exigidos.
Redacta documentos con el formato, contenido, estructura, corrección lingüística, registro adecuados e ilustra conceptos utilizando correctamente las convenciones: formatos, títulos, pies, leyendas,...
Usa un lenguaje apropiado a la situación.
Utiliza estrategias para presentar y llevar a cabo sus presentaciones orales (ayudas audiovisuales, mirada, voz, gesto, control de tiempo,...).
 B3.1 Acepta y cumple las normas del grupo.
Colabora activamente en la planificación del trabajo en equipo, en la distribución de las tareas y plazos requeridos.
Facilita la gestión positiva de las diferencias, desacuerdos y conflictos que se producen al equipo.
Lleva a cabo su aportación individual en el tiempo previsto y con los recursos disponibles.
Participa de forma activa y comparte información, conocimiento y experiencias.
Tiene en cuenta los puntos de vista de los demás y retroalimenta de forma constructiva.
 B4.2 Formula preguntas adecuadas para resolver las dudas o cuestiones abiertas, y tiene criterio en la búsqueda de la información.
Selecciona un procedimiento de entre los que le propone el profesor.
Tipo C Código Resultados de aprendizaje
 C1.1 Expresa opiniones sobre temas abstractos o culturales de forma limitada.
Explica y justifica brevemente sus opiniones y proyectos.
Comprende instrucciones sobre clases o tareas asignadas por los profesores.
Comprende información y artículos de carácter rutinario.
Extrae el sentido general de los textos que contienen información no rutinaria dentro de un ámbito conocido.
Escribe carta o toma notas sobre asuntos preisibles y contenidos.
 C1.2 Conoce la maquinaria básica de los ordenadores.
Conoce el sistema operativo como gestor del maquinario y el programario como herramienta de trabajo.
Utiliza programario para la comunicación off-line: editores de textos, hojas de cálculo y presentaciones digitales.
Utiliza programario para a comunicación on-line: herramientas interactivas (web, Moodle, blogs...), correo electónico, foros, chat, videoconferencias, herramientas de trabajo colaborativo...
 C1.3 Localiza y accede a la información de manera eficaz y eficiente.
Avalua ciríticamente la información y sus fuentes y la incorpora a la propia base de conocimientos y a su sistema de valores.
Utiliza la informaicón comprendiendo las implicaciones económicas, legales, sociales y éticas del acceso a la información y a su uso.
Reflexiona, revisa y avalua el proceso de gestión de la información.

Contenidos
tema Subtema
Introducción. Introducción y conceptos preliminares
Capítulo 1. Llitografía ultravioleta y visible. Concepto de litografía óptica. Litografía óptica convencional. Resinas. Instrumentación. La microelectrónica como la fuerza impulsora de la miniaturización. Límites de la litografía óptica. Litografía óptica avanzada.
Capítulo 2. Litografía de haz de electrones. Introducción a la litografía de haz de electrones. Óptica con electrones: Sistemas de litografía de haz de electrones (Electron beam lithography, EBL). Las interacciones electrones-materiales sólidos. Exposición: Resinas. Efectos de proximidad. Tecnología del proceso. Aplicaciones.
Capítulo 3. Tecnología de haz de iones focalizado. Interacción ion-sólido. Pulverización y redepósito. Acanalamiento. Electrones secundarios. Haces de iones focalizados (FIB). Ataque iónico y ataque iónico asistido por gas. Depósito por gas asistido por iones. Sistemas FIB de un solo haz y de doble haz. Litografía por haz de iones. Nanomanipulación. Aplicaciones.
Capítulo 4. Técnicas litográficas no convencionales I: técnicas de AFM. Litografías basadas en microscopías de campo cercano: Introducción a la microscopía de sonda de barrido. Resumen de los métodos litográficos de sonda de barrido. Manipulación atómica (STM). La manipulación de los objetos y las moléculas. Indentación / depósito local. Nanolitografía de oxidación local. Dispensado local de líquidos y moléculas (incluyendo Dip Pen nanolithography). Nanofabricación en paralelo.
Capítulo 5. Técnicas litográficas no convencionales II: impresión, estampado y técnicas de AFM. Litografías de estampado. Termoplásticos: temperatura de transición vítrea. Estampado en caliente y nanoimpresión. Curado de termoplásticos mediante luz ultravioleta. Replicado. Litografías suaves


Capítulo 6. Técnicas de depósito y crecimiento Proceso de crecimiento. Evaporación. Epitaxia de haces moleculares. Pulverización catódica. Depósito asistido por iones. Ablación mediante láser. Depósito de fase química Depósito asistido mediante plasma. Método de depósito de Langmuir-Blodgett.


Capítulo 7. Procesado de capas. Grabado mediante química seca y húmeda. Procesos de lift-off. Grabado reactivo y asistido mediante plasma. Grabado iónico.
Capítulo 8. Procesos de fabricación global. Fabricación de estructuras complejas utilizando las técnicas descritas en los temas anteriores. Propuesta de alternativas y complementariedad de técnicas.

Planificación
Metodologías  ::  Pruebas
  Competencias (*) Horas en clase
Horas fuera de clase
(**) Horas totales
Actividades introductorias
1 0 1
Sesión magistral
A1.1
B4.2
25 50 75
Presentaciones/exposiciones
B1.1
C1.1
4 4 8
Atención personalizada
3 4.5 7.5
 
Pruebas de desarrollo
A1.1
C1.1
6 12 18
Pruebas prácticas
A1.1
1 2 3
 
(*) En el caso de docencia no presencial, serán las horas de trabajo con soporte virtual del profesor.
(**) Los datos que aparecen en la tabla de planificación son de carácter orientativo, considerando la heterogeneidad de los alumnos

Metodologías
Metodologías
  descripción
Actividades introductorias Actividades encaminadas a tomar contacto y a recoger información de los estudiantes. Presentación de la asignatura.
Sesión magistral Exposición de los contenidos de la assignatura.
Presentaciones/exposiciones Exposición oral por parte de los estudiantes de un tema concreto o de un trabajo (previa presentación escrita).
Atención personalizada Tiempo que cada profesor tiene reservado para atender y resolver dudas a los estudiantes.

Atención personalizada
descripción
Dr. Albert Romano: Prof. Albert Romano-Rodriguez Professor Titular d'Universitat MIND-IN2UB - Departament d'Electronica Universitat de Barcelona c/ Marti i Franques, 1 E-08028 Barcelona Spain tel: +34 93 403 91 56 FAX: +34 93 402 11 48 e-mail: aromano@el.ub.es Dr. Francesc Pérez-Murano: Prof. Francesc Perez-Murano NEMS and Nanofabrication IMB-CNM. CSIC CAMPUS UAB. 08193 Bellaterra.Spain Phone: +34 93 594 77 00 (ext. 2113) e-mail: francesc.perez@imb-cnm.csic.es Dr. Manuel Varela: M. Varela Applied Physics and Optics Dept. University of Barcelona c/ Martí i Franquès, 1 08028 Barcelona mvarela@ub.edu Xavier Borrisé (CNM-CSIC and ICN) Nanolithography Laboratory CAMPUS UAB. 08193 Bellaterra.Spain Phone: +34 93 5947700 ext 1104 e-mail: xavier.borrise@imb-cnm.csic.es

Evaluación
Metodologías Competencias descripción Peso        
Presentaciones/exposiciones
B1.1
C1.1
Los estudiantes se dividirán en grupos y cada grupo llevará a cabo una exposición oral sobre el trabajo que han desarrollado durante el curso. 30-40%
Pruebas prácticas
A1.1
Prueba sobre un proceso de fabricación determinado con un vertiente práctico 10-20%
Pruebas de desarrollo
A1.1
C1.1
Exámenes en que los alumnos han de mostrar individualmente sus conocimientos. 40-60%
Otros  
 
Otros comentarios y segunda convocatoria

Durante las pruebas evaluativas, los teléfonos móviles, tablets y otros aparatos electónico que no sean expresamente autorizados por la prueba, deben estar apagados y fuera de la vista


Fuentes de información

Básica M.J. Madou , Fundamentals of microfabrication: the science of miniaturization. , CRC Press , 2002
B. Bushan et al. , Springer Handbook of Nanotechnology , Springer, 2006
J.N. Helbert, Handbook of VLSI Microlithography - Principles, Tools, Technology and Applications. , William Andrew Publishing/Noyes , 2001
H.S. Nalwa (editor) , Encyclopedia of nanoscience and nanotechnology , American Scientific Publishers , 2004
Z. Cui , Micro-Nanofabrication: Technology and Applications , Springer Verlag , 2006
M. Ohring , Materials Science of Thin Films , Academic Press , 2002
J.A. Venables , Introduction to Surface and Thin Film Processes , Cambridge University Press , 2001

Complementaria

Journals in the field of Nanotechnology

Applied Physics and Chemical Synthesis

Proceedings of conferences in the field of the subject

Recomendaciones

Asignaturas que se recomienda cursar simultáneamente
PROCESOS EN SALA BLANCA/20705207

(*)La Guía docente es el documento donde se visualiza la propuesta académica de la URV. Este documento es público y no es modificable, excepto en casos excepcionales revisados por el órgano competente o debidamente revisado de acuerdo la normativa vigente.