Guia docent Escola Tècnica Superior d'Enginyeria Química |
català |
Nanociència, Materials i Processos: Tecnologia Química de Frontera (2013) |
Assignatures |
NANOFABRICACIÓ I NANOPROCESSAT |
Fonts d'informació |
DADES IDENTIFICATIVES | 2016_17 |
Assignatura | NANOFABRICACIÓ I NANOPROCESSAT | Codi | 20705206 | |||||
Ensenyament |
|
Cicle | 2n | |||||
Descriptors | Crèd. | Tipus | Curs | Període | ||||
4.5 | Optativa | AN |
Competències | Resultats d'aprenentage | Continguts |
Planificació | Metodologies | Atenció personalitzada |
Avaluació | Fonts d'informació | Recomanacions |
Bàsica |
M.J. Madou , Fundamentals of microfabrication: the science of miniaturization. , CRC Press , 2002 B. Bushan et al. , Springer Handbook of Nanotechnology , Springer, 2006 J.N. Helbert, Handbook of VLSI Microlithography - Principles, Tools, Technology and Applications. , William Andrew Publishing/Noyes , 2001 H.S. Nalwa (editor) , Encyclopedia of nanoscience and nanotechnology , American Scientific Publishers , 2004 Z. Cui , Micro-Nanofabrication: Technology and Applications , Springer Verlag , 2006 M. Ohring , Materials Science of Thin Films , Academic Press , 2002 J.A. Venables , Introduction to Surface and Thin Film Processes , Cambridge University Press , 2001 |
Complementària | |
Journals in the field of Nanotechnology Applied Physics and Chemical Synthesis Proceedings of conferences in the field of the subject |