Nanociencia, Materiales y Procesos: Tecnología Química de Frontera (2013) |
Asignaturas |
NANOFABRICACIÓN Y NANOPROCESADO |
Fuentes de información |
DATOS IDENTIFICATIVOS | 2017_18 |
Asignatura | NANOFABRICACIÓN Y NANOPROCESADO | Código | 20705206 | |||||
Titulación |
|
Ciclo | 2º | |||||
Descriptores | Cr.totales | Tipo | Curso | Periodo | ||||
4.5 | Optativa | AN |
Competencias | Resultados de aprendizaje | Contenidos |
Planificación | Metodologías | Atención personalizada |
Evaluación | Fuentes de información | Recomendaciones |
Básica |
M.J. Madou , Fundamentals of microfabrication: the science of miniaturization. , CRC Press , 2002 B. Bushan et al. , Springer Handbook of Nanotechnology , Springer, 2006 J.N. Helbert, Handbook of VLSI Microlithography - Principles, Tools, Technology and Applications. , William Andrew Publishing/Noyes , 2001 H.S. Nalwa (editor) , Encyclopedia of nanoscience and nanotechnology , American Scientific Publishers , 2004 Z. Cui , Micro-Nanofabrication: Technology and Applications , Springer Verlag , 2006 M. Ohring , Materials Science of Thin Films , Academic Press , 2002 J.A. Venables , Introduction to Surface and Thin Film Processes , Cambridge University Press , 2001 |
Complementaria | |
Journals in the field of Nanotechnology Applied Physics and Chemical Synthesis Proceedings of conferences in the field of the subject |